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> 自动聚焦追踪系统
| 自动聚焦系统 | 备注 | |
|---|---|---|
| AF 方法 | ||
| AF 追踪精度 | 小于±3μm | 125mm/sec |
| AF 追踪坡度 | 大于4[μm/mm] | 125mm/sec |
| 测量范围 | 小于±50μm | M.R:±900μm |
| AF 感应速率/td> |
707 ㎐ (AF-camera speed at 1280 x 300) 3000 ㎐ (AF-camera speed at 760 x 100) |
|
| 主要设备 | ||
| AF 方法 | AF 传感器+ Z轴电机+运动控制器 | |
| 接口 | GigE | |
| AF芯片 | VS-1300(AF camera) + Line-shaped laser(Wavelength: 685 ㎚) | |
| 运动控制器 | UDMnt2C2xxxxxxx (ACS motion) | 因轴、配置数量而异 |
| AF 平台 |
平台: 旋转电机+线性运动平台（滚珠丝杠） 型号: TS4607S6221E600 (Tamagawa) Stroke: 25 ㎜ (Guide Type: LM Guide) 尺寸: 120 ㎜ x 120 ㎜ x 450 ㎜ 重量: 5.0 ㎏ (including a motor) 分辨率: 1 ㎛ 最大速度: 50 ㎜/sec 重复性: ±1 ㎛(uni-dir), ±2 ㎛(bi-dir) 负载能力: 20 ㎏ |
| 文档名称 | 下载 |
|---|---|
| Datasheet_AFTS_R001EN_20230626.pdf | Datasheet_AFTS_R001EN_20230626.pdf |